Defects formation in the dual B+ and N+ ions implanted silicon

V. Popok*, V. Odzhaev, V. Hnatowicz, J. Kvítek, V. Švorčik, V. Rybka

*Kontaktforfatter

Publikation: Bidrag til tidsskriftTidsskriftartikelForskningpeer review

1 Citationer (Scopus)
OriginalsprogEngelsk
TidsskriftCzechoslovak Journal of Physics
Vol/bind44
Udgave nummer10
Sider (fra-til)949-956
Antal sider8
ISSN0011-4626
DOI
StatusUdgivet - 1 okt. 1994
Udgivet eksterntJa

Fingeraftryk

Dyk ned i forskningsemnerne om 'Defects formation in the dual B<sup>+</sup> and N<sup>+</sup> ions implanted silicon'. Sammen danner de et unikt fingeraftryk.

Citationsformater