Defects formation in the dual B⁺ and N⁺ ions implanted silicon

V. Popok^*, V. Odzhaev, V. Hnatowicz, J. Kvítek, V. Švorčik, V. Rybka

^*Kontaktforfatter

Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › peer review