Dual implantation of silicon with boron and argon ions

V. Popok*, V. Hnatowicz, J. Kvítek, V. Švorčík, V. Rybka

*Kontaktforfatter

Publikation: Bidrag til tidsskriftTidsskriftartikelForskningpeer review

2 Citationer (Scopus)
OriginalsprogEngelsk
Tidsskriftphysica status solidi (a)
Vol/bind141
Udgave nummer1
Sider (fra-til)93-98
Antal sider6
ISSN0031-8965
DOI
StatusUdgivet - 1 jan. 1994
Udgivet eksterntJa

Fingeraftryk

Dyk ned i forskningsemnerne om 'Dual implantation of silicon with boron and argon ions'. Sammen danner de et unikt fingeraftryk.

Citationsformater